Search results
- 1.0424549 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
[An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
Internal code: IONEU2013 ; 2013
Technical parameters: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Economic parameters: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230613 - 2.0424548 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Olejníček, Jiří - Jastrabík, Lubomír
Měřicí systém pro mikrovlnnou diagnostiku plazmatu.
[Measuring system for microwave diagnostic of the plasma.]
Internal code: TRMW2013 ; 2013
Technical parameters: Vyvinutá řídící jednotka umožňuje časově rozlišená měření a s opakovaným měřením výrazně potlačuje šum, rychlost a rozsah měření je dána především komerčním generátorem do 20 GHz a mikrovlnnými detektory
Economic parameters: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : microwave diagnostics * plasma * measuring system * plasma processes
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230611 - 3.0424534 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu.
[Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems.]
Internal code: DPCS/FZÚ/2013 ; 2013
Technical parameters: Rychlost 85 KSPS, přesnost měření je 0,024%, vstupní napětí +- 10 V
Economic parameters: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : pohyb substrátu * PC řízený
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230598