Search results
- 1.0566395 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš
Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií.
[Graphene Foil Lens Corrector.]
Internal code: APL-2022-16 ; 2022
Technical parameters: Korektor sférické aberace a jeho integrace do mikroskopu Apreo. Jeho základní částí je elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál a dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií, která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole. Integrace do mikroskopu Apreo zahrnuje nový kondenzorový sytém a nový mechanizmus pro měření aberací založený na 2D pixelovém detektoru TimePix.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * corrector of sperical aberration * resolution * graphene foil * TimePix detector
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337735
- 2.0566394 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Sháněl, O. - Schneider, M. - Řiháček, Tomáš - Radlička, Tomáš
Si3Nx fázová destička pokrytá vodivou vrstvou.
[Si3Nx phase plates covered by conductive layer.]
Internal code: APL-2022-15 ; 2022
Technical parameters: Křemíkový čip nesoucí tenkou nitridovou membránu, která je pokrytá tenkou vodivou molybdenovou vrstvou. Otvor membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Z membrány je vytvořena fázová destička tím, že je v jejím středu udělaný otvor optimalizovaných rozměrů pomoci technologie fokusovaného iontového svazku. Tloušťka molybdenové vrstvy je optimalizovaná pro výsledný fázový posuv pi/2. Součástí funkčního vzorku je modifikovaný držák apertur, který umožňuje její umístění do zadní ohniskové roviny transmisního elektronového mikroskopu.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : transmission electron microscopy * phase plate * silicon nitride * thin layers
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337734
- 3.0566202 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Řiháček, Tomáš
Modifikovaný držák standardních silikon-nitridových membrán pro tubus Elstar.
[Modified holder for standard silicon nitride membranes for Elstar SEM tube.]
Internal code: APL-2022-14 ; 2022
Technical parameters: Původní tyč držáku aperturního stripu je opatřena prodloužením o délce cca 45 mm tak, aby silikon-nitridové membrány mohly být umístěny do optické osy tubusu elektronového mikroskopu. Původní zakončení tyče je nahrazeno novým lůžkem na clonky, které je vybaveno třemi kapsami pro umístění membrán standardních rozměrů – kruhový křemíkový čip o průměru cca 3 mm a tloušťce cca 0.2 mm. Kapsy jsou dále vybaveny manipulačními drážkami, které umožňují bezpečné uchopení čipů do pinzety. Krycí plech o tloušťce 0.2 mm upevněný dvěma šrouby zajistí pevné uchycení membrán, zabraňuje jejich nežádoucímu pohybu, přičemž otvory v plechu odpovídají standardizovaným pozicím clon. To umožňuje volbu pozice pomocí manipulačního mechanismu držáku.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem vědeckého využití s vědeckým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Řiháček, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : Scanning electron microscopy * beam shaping * diffraction
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337631
- 4.0550697 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Sháněl, O. - Schneider, M. - Materna-Mikmeková, Eliška - Řiháček, Tomáš - Podstránský, Jáchym - Radlička, Tomáš
Si3Nx fázová destička.
[Si3Nx phase plates.]
Internal code: APL-2021-05 ; 2021
Technical parameters: Křemíkový čip nesoucí tenkou nitridovou membránu. Rozměr (Okénko v křemíkovém čipu) membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Tloušťka membrány je optimalizovaná tak, aby v posouvala fázi procházejícího svazku o pi/2. Čip je upevněný na platinové clonce o průměru 3 mm a ve středu clonky je malý otvor o rozměrech v jednotkách µm, který byl vytvořen pomoci FIB/SEM, tak aby odpovídal velikosti nultého řádu difrakce v zadní objektivové rovině.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : transmission electron microscopy * phase plate * silicon nitride * thin layers
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326001
- 5.0536587 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Seďa, B. - Vašina, R. - Oral, Martin - Řiháček, Tomáš - Radlička, Tomáš
Nástavec pro objektivovou čočku.
[Objective lens extender.]
Internal code: APL-2020-09 ; 2020
Technical parameters: Extender je prstenec s upínacím mechanizmem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima.Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu. Přínos extenderu pro zlepšení vlastností skenovacího elektronového mikroskopu se mění podle operačních podmínek.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Martin Oral, Ph.D., oral@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * variable objective lens * acceptance of signal electrons * secondary electrons * resolution * immersion field
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314350
- 6.0536585 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš - Oral, Martin - Seďa, B. - Vašina, R.
Annulární clona pro SEM.
[Annular aperture for SEM.]
Internal code: APL-2020-08 ; 2020
Technical parameters: Pro výrobu byl použitý standardní aperturní strip, který je tvořený nosnou křemíkovou vrstvou pokovenou 200 nm vrstvou Molybdenu. Anulární apertura byla vyrobena pomoci technologie iontového fokusovaného svazku.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * diffraction * resolution * annular aperture
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314349
- 7.0536583 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Krátký, Stanislav - Fořt, Tomáš - Matějka, Milan - Materna-Mikmeková, Eliška - Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš - Sháněl, O. - Schneider, M. - Mareček, D.
Fázová destička pro použití v transmisní elektronové mikroskopii.
[Phase plate for transmission electron microscopy.]
Internal code: APL-2020-07 ; 2020
Technical parameters: Křemíkový čip (tloušťka 200 µm) nesoucí tenkou nitridovou membránu (tloušťka ⁓70 nm). Otvor membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Čip je upevněný na platinové clonce o průměru 3 mm. Celý vzorek je pokoven tenkou vrstvou molybdenu (⁓3 nm).
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, kratky@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : transmission electron microscopy * phase plate * silicon nitride * thin layers * e-beam lithography
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314347