Search results
- 1.0423948 - ÚPT 2014 RIV CZ cze B - Monography
Matějka, František
Praktická elektronová litografie.
[Practical E-Beam Lithography.]
Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2013. 88 s. ISBN 978-80-87441-04-6
R&D Projects: GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020233
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : e-beam lithography * e-beam resist * e-beam exposure
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0229992