0390208 - FZÚ 2013 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Lukašík, P. - Piják, A. - Dolák, J. - Martinek, P. - Pitrun, J. - Rek, Š. - Konečný, L. - Mareš, G. - Štepánek, J. - Jakeš, J. - Křenek, Z. - Joštic, M. - Čada, Martin - Kment, Štěpán - Straňák, Vítězslav - Hubička, Zdeněk - Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Potocký, ŠtěpánAutomatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály.
[Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels.]
Internal code: PST2/FZÚ-SVCS/2012 ; 2012
Technical parameters: Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012.
Economic parameters: Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný
R&D Projects: GA TA ČR TA01011740
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : microwave * surfatron * thin films * vacuum reactor * plasma * deposition * plasma jet * flowmeter
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0219084
