Search results
- 1.0481686 - FZÚ 2018 RIV cze P - Patent Document
Olejníček, Jiří - Šmíd, Jiří - Hubička, Zdeněk - Adámek, Petr - Čada, Martin - Kment, Štěpán
Způsob řízení rychlosti depozice tenkých vrstev ve vakuovém vícetryskovém plazmovém systému a zařízení k provádění tohoto způsobu.
[A method of controlling the rate of deposition of thin layers in a vacuum multi-nozzle plasma system and a device for implementing this method.]
2017. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the patent acceptance: 13.09.2017. Patent Number: 306980
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TF01000084
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : hollow cathode * plasma nozzle * deposition * thin films
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.cz/webapp/webapp.pts.det?xprim=10241583&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0277207 - 2.0449903 - FZÚ 2016 RIV cze P - Patent Document
Hubička, Zdeněk - Straňák, Vítězslav - Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Kromka, Alexander
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů.
[Hybrid plasma nozzle with surface wave for driving highly reactive discharges.]
2015. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the patent acceptance: 09.09.2015. Patent Number: 305482
R&D Projects: GA MŠMT LH12045; GA TA ČR TA03010743
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : plasma * discharge * surfatron * thin films
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0251346