Search results
- 1.0397456 - FZÚ 2014 RIV cze P1 - User Module
Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Měřicí systém pro mikrovlnnou diagnostiku plazmatu.
[Measuring system for microwave plasma diagnostics.]
2013. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 01.10.2013. Utility model number: 25927
R&D Projects: GA TA ČR TA01011740; GA MŠMT LD12002; GA MŠMT LH12043
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : microwave * plasma diagnostics * antenna * resonator
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025927.pdf
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0225083 - 2.0396132 - FZÚ 2014 RIV cze P1 - User Module
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kubart, T. - Adámek, Petr - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev.
[System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process.]
2013. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 16.09.2013. Utility model number: 25867
R&D Projects: GA TA ČR TA01011740; GA MŠMT LH12043
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : ion flux * neutral particles * magnetic field * deposition rate
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0223966