Search results
- 1.0480747 - ÚPT 2018 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Horáček, Miroslav - Matějka, Milan - Král, Stanislav - Matějka, F. - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Kolařík, Vladimír
Příprava TFE W(100) ZrO katod.
[TFE W(100) ZrO emitter preparation.]
Internal code: APL-2017-3 ; 2017
Technical parameters: Katody se připravují z W(100) monokrystalu. Standardní svítivost katody je 0,5 mA/sr. Technologie vyžaduje čistou laboratoř s třídou čistoty 1000 nebo lepší a vysokovakuovou aparaturu
Economic parameters: Ověřená technologie vznikla při řešení grantů. Ověřenou technologii využívá příjemce jednak při zajištění provozu aparatury elektronového litografu TESLA BS600 využívaného pro řešení řady projektů, a jednak v rámci smluvního výzkumu. Kontakt: Ing. Miroslav Horáček, Ph.D., mih@isibrno.cz
R&D Projects: GA MŠk(CZ) LO1212; GA MŠk ED0017/01/01; GA TA ČR(CZ) TE01020118; GA TA ČR TE01020233; GA MPO FR-TI1/576
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : elektronová litografie * katoda * emitér * termo auto emise * W(100)
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0276457
- 2.0478403 - ÚPT 2018 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Chlumská, Jana - Matějka, Milan - Kolařík, Vladimír
Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy.
[Thick layer coating on Si wafers and the control of the layer.]
Internal code: APL-2017-02 ; 2017
Technical parameters: Vrstvy rezistu se nanáší na křemíkové podložky průměru 4-6 palců. Nominální tloušťka vrstev je 10 mikronů. Technologie vyžaduje čistou laboratoř s třídou čistoty 1000 nebo lepší.
Economic parameters: Ověřená technologie realizovaná při řešení grantů, využívaná příjemcem při vývoji planárních mikrostruktur v rámci projektu FV10618 a v rámci smluvního výzkumu. Kontakt: Ing. Miroslav Horáček, Ph.D., mih@isibrno.cz
R&D Projects: GA MŠk(CZ) LO1212; GA MŠk ED0017/01/01
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : e-beam lithography * PMMA rezist * thick layers * spin coating
OECD category: Materials engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0274516
- 3.0387837 - ÚPT 2013 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Zobač, Martin - Vlček, Ivan
Technologie spojování materiálu Inconel 718 a austenitické nerezavějící oceli 310 pomocí elektronového svazku.
[E-beam welding of inconel 718 and austenitic stainless steel - grade 310.]
Internal code: UPT 2012/19 ; 2012
Technical parameters: Používaná ověřená technologie: Výrobní postup pro spojování součástek z materiálu Inconel 718 a austenitické nerezavějící oceli 310 pomocí elektronového svazku. Ověřená maximální hloubka průvaru: 3 mm. Šířka tepelně ovlivněné oblasti (HAZ): pod 2 mm.
Economic parameters: Ověřená technologie získaná jako výsledek řešení projektu s možností prodeje licenceu zatím vyžívané ústavem v rámci zakázek hlavní činnosti při svařování pro průmyslové partnery.
R&D Projects: GA MŠk ED0017/01/01
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : electron beam welding * Inconel * stainless steel
Subject RIV: JR - Other Machinery
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0219901