Search results

  1. 1.
    0423948 - ÚPT 2014 RIV CZ cze B - Monography
    Matějka, František
    Praktická elektronová litografie.
    [Practical E-Beam Lithography.]
    Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2013. 88 s. ISBN 978-80-87441-04-6
    R&D Projects: GA MŠk ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020233
    Institutional support: RVO:68081731
    Keywords : e-beam lithography * e-beam resist * e-beam exposure
    Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0229992