0336662 - ÚPT 2010 RIV CZ cze V - Research Report
Polívka, L. - Kolařík, Vladimír - Mikšík, P.
Roční zpráva o řešení projektu MPO FR-TI1/574: Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografií.
[Annual report, project MPO FR-TI1/574: Optimization of production flow in electron-beam lithography and mastering.]
Řež u Prahy: Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, 2010. 116 s.
R&D Projects: GA MPO FR-TI1/574
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : electron beam lithography * shaped electron beam
Subject RIV: JP - Industrial Processing
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0180850