Search results
- 1.0566395 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš
Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií.
[Graphene Foil Lens Corrector.]
Internal code: APL-2022-16 ; 2022
Technical parameters: Korektor sférické aberace a jeho integrace do mikroskopu Apreo. Jeho základní částí je elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál a dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií, která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole. Integrace do mikroskopu Apreo zahrnuje nový kondenzorový sytém a nový mechanizmus pro měření aberací založený na 2D pixelovém detektoru TimePix.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * corrector of sperical aberration * resolution * graphene foil * TimePix detector
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337735 - 2.0566394 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Sháněl, O. - Schneider, M. - Řiháček, Tomáš - Radlička, Tomáš
Si3Nx fázová destička pokrytá vodivou vrstvou.
[Si3Nx phase plates covered by conductive layer.]
Internal code: APL-2022-15 ; 2022
Technical parameters: Křemíkový čip nesoucí tenkou nitridovou membránu, která je pokrytá tenkou vodivou molybdenovou vrstvou. Otvor membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Z membrány je vytvořena fázová destička tím, že je v jejím středu udělaný otvor optimalizovaných rozměrů pomoci technologie fokusovaného iontového svazku. Tloušťka molybdenové vrstvy je optimalizovaná pro výsledný fázový posuv pi/2. Součástí funkčního vzorku je modifikovaný držák apertur, který umožňuje její umístění do zadní ohniskové roviny transmisního elektronového mikroskopu.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : transmission electron microscopy * phase plate * silicon nitride * thin layers
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337734 - 3.0550699 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Materna Mikmeková, Eliška - Sýkora, Jiří - Piňos, Jakub - Průcha, Lukáš - Radlička, Tomáš
Držák fázových destiček pro čištění.
[Phase plates holder for the cleaning procedures.]
Internal code: APL-2021-08 ; 2021
Technical parameters: Funkční vzorek držáku fázových destiček se skládá se dvou přesně definovaných vyfrézovaných duralových destiček s otvory na 25 apertur, na kterých jsou fázové destičky nalepeny pastou na bázi uhlíku či speciální stříbrnou pastou používanou při přípravě vzorků do rastrovacích elektronových mikroskopů.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Eliška Materna Mikmeková, Ph.D. MBA, eliska@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : apertures holder * phase plates * transmission electron microscopy * cleaning
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326004 - 4.0550698 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Oral, Martin - Radlička, Tomáš
Nástavec objektivové čočky s deflektory optimalizovaný pro tubus NiCol.
[Extender for NiCOl column with deflectors.]
Internal code: APL-2021-13 ; 2021
Technical parameters: Extender je prstenec s upínacím mechanismem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima.Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Tento prstenec je navíc vybaven deflekčními poli, pomocí nichž můžeme ovlivňovat trajektorie signálních elektronů. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * compound objective lens * acceptance of signal electrons * secondary electrons * resolution * immersion field
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326003 - 5.0550697 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Sháněl, O. - Schneider, M. - Materna Mikmeková, Eliška - Řiháček, Tomáš - Podstránský, Jáchym - Radlička, Tomáš
Si3Nx fázová destička.
[Si3Nx phase plates.]
Internal code: APL-2021-05 ; 2021
Technical parameters: Křemíkový čip nesoucí tenkou nitridovou membránu. Rozměr (Okénko v křemíkovém čipu) membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Tloušťka membrány je optimalizovaná tak, aby v posouvala fázi procházejícího svazku o pi/2. Čip je upevněný na platinové clonce o průměru 3 mm a ve středu clonky je malý otvor o rozměrech v jednotkách µm, který byl vytvořen pomoci FIB/SEM, tak aby odpovídal velikosti nultého řádu difrakce v zadní objektivové rovině.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : transmission electron microscopy * phase plate * silicon nitride * thin layers
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326001 - 6.0550696 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Radlička, Tomáš
Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií.
[Graphene Foil Len Corrector.]
Internal code: APL-2021-14 ; 2021
Technical parameters: Korektor je zamýšlen jako součást skenovacího elektronového mikroskopu, která bude korigovat jeho sférickou vadu. Je to elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií (řádově 1 - 3 atomové vrstvy grafénu), která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole a zároveň minimálně ovlivňuje elektrony při jejich průchodu folií. Systém je vybaven mechanismem vypékání grafénové folie.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * corrector of spherical aberration * resolution * graphene foil
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326000 - 7.0536587 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Seďa, B. - Vašina, R. - Oral, Martin - Řiháček, Tomáš - Radlička, Tomáš
Nástavec pro objektivovou čočku.
[Objective lens extender.]
Internal code: APL-2020-09 ; 2020
Technical parameters: Extender je prstenec s upínacím mechanizmem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima.Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu. Přínos extenderu pro zlepšení vlastností skenovacího elektronového mikroskopu se mění podle operačních podmínek.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Martin Oral, Ph.D., oral@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * variable objective lens * acceptance of signal electrons * secondary electrons * resolution * immersion field
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314350 - 8.0536585 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš - Oral, Martin - Seďa, B. - Vašina, R.
Annulární clona pro SEM.
[Annular aperture for SEM.]
Internal code: APL-2020-08 ; 2020
Technical parameters: Pro výrobu byl použitý standardní aperturní strip, který je tvořený nosnou křemíkovou vrstvou pokovenou 200 nm vrstvou Molybdenu. Anulární apertura byla vyrobena pomoci technologie iontového fokusovaného svazku.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * diffraction * resolution * annular aperture
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314349 - 9.0536583 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Krátký, Stanislav - Fořt, Tomáš - Matějka, Milan - Materna Mikmeková, Eliška - Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš - Sháněl, O. - Schneider, M. - Mareček, D.
Fázová destička pro použití v transmisní elektronové mikroskopii.
[Phase plate for transmission electron microscopy.]
Internal code: APL-2020-07 ; 2020
Technical parameters: Křemíkový čip (tloušťka 200 µm) nesoucí tenkou nitridovou membránu (tloušťka ⁓70 nm). Otvor membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Čip je upevněný na platinové clonce o průměru 3 mm. Celý vzorek je pokoven tenkou vrstvou molybdenu (⁓3 nm).
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, kratky@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : transmission electron microscopy * phase plate * silicon nitride * thin layers * e-beam lithography
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314347 - 10.0536443 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Konvalina, Ivo - Frank, Luděk - Radlička, Tomáš - Zobač, Martin - Vlček, Ivan - Sýkora, Jiří - Klein, Pavel - Müllerová, Ilona - Materna Mikmeková, Eliška
Elektrostatický tubus pro 2D detekci v UHV systému (mimo-osový pixelový detektor).
[Electrostatic column for 2D detection in UHV system (off-axis pixelated detector).]
Internal code: APL-2020-06 ; 2020
Technical parameters: Funkční vzorek projekčního elektrostatického tubusu tvoří tři elektrostatické multipólové korektory, jedna rotačně symetrická elektrostatická čočka, stínítko, řídící elektronika s programovatelnými napěťovými zdroji a kabeláž. Výsledek byl realizován pro ověření elektronově optických vlastností projekčního elektrostatického tubusu v rámci programu Národního centra kompetence - projekt Centrum elektronové a fotonové optiky.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ivo Konvalina, Ph.D., kimiki@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : electron microscopy * electrostatic column * multipole corrector * electrostatic lens * 2D detection
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314219