Search results
- 1.0575662 - ÚPT 2024 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Krátký, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Fořt, Tomáš - Mikel, Břetislav - Helán, R. - Urban, F.
Technologie výroby nelineárních fázových masek.
[The manufacturing process of apodized phase masks.]
Internal code: APL-2023-03 ; 2023
Technical parameters: Technologie pro výrobu nelineárních fázových masek pro vlnovou délku dopadajícího světla 248 nm pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání do materiálu fused silica. Přesnost zápisu periody mřížky je 0,1 nm, přesnost naladění hloubky mřížky je ±5 nm.
Economic parameters: Ověřená technologie realizovaná při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, Ph.D., kratky@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) FW01010379
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : apodized phase mask * e-beam lithography * reactive ion etching
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0345419 - 2.0470129 - ÚPT 2017 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Dvořáček, F. - Dvořáčková, Š. - Buchta, Zdeněk - Čížek, Martin - Šarbort, Martin - Řeřucha, Šimon - Hucl, Václav - Pikálek, Tomáš - Mikel, Břetislav - Lazar, Josef - Číp, Ondřej
Kalibrace koncových měrek bezkontaktní metodou.
[System for contactless mass calibration of gauge blocks.]
Internal code: APL-2016-15 ; 2016
Technical parameters: Poloprovoz využívá bezkontaktní metodu měření délky měrky dle patentu ČR 302948 a dále zapojení nezbytných zařízení a přístrojů do měřicího procesu včetně požadavku na přípravu koncové měrky k vlastnímu měření.
Economic parameters: Je uzavřená Smlouva o využití výsledku výzkumu a vývoje pro projekt TA03010663 a poloprovoz bude probíhat v rámci kalibrační laboratoře Českého metrologického institutu (IČ 00177016) (viz Osvědčení o akreditaci), kontakt: Ing. Ondřej Číp, Ph.D., ocip@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TA03010663; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : Gauge block * double ended interferometer * mass calibration * length metrology
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0267856