Search results
- 1.0603699 - ÚPT 2025 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Pokorná, Zuzana - Motlová, Tereza
Kalibrační struktury.
[Calibration structures.]
Internal code: APL-2024-15 ; 2024
Technical parameters: Kalibrační struktura mikroskopických rozměrů vytvořená na křemíkové podložce. Části mikrostruktury jsou odděleny ostrými přechody a jsou ze tří materiálů vykazujících rozdílnou emisivitu sekundárních elektronů. Tloušťka jednotlivých materiálů ve strukturách je 300 um. Rozměry struktur jsou 1 um do 10 um v závislosti na použitém materiálu struktury.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem interního využití mezi partnery projektu. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D., fumici@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN02000020
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : metal test sample * scanning electron microscope * secondary electron spectroscopy
OECD category: Materials engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0361005 - 2.0574101 - ÚPT 2024 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Kolařík, V. - Stříteský, S. - Matějka, M. - Knápek, Alexandr - Těthal, T. - Krátký, S. - Meluzín, Petr - Voláková, V. - Lexa, P. - Mika, Filip - Chlumská, J. - Sadílek, Jakub - Horáček, Miroslav
Optický prvek pro technické aplikace na bázi počítačem generovaných hologramů.
[Optical element based on CGH for technical applications.]
Internal code: APL-2021-18 ; 2021
Technical parameters: Velikost optického prvku 25 mm x 25 mm, kvaziperiodická struktura s víceúrovňovým profilem, rozlišení zápisu v osách X/Y 200 nm, výška reliéfu 1050 nm.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: doc. Ing. Alexandr Knápek, Ph.D., knapek@isibrno.cz.
R&D Projects: GA MPO(CZ) EG19_262/0020294
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : diffractive optical element * computer generated hologram * direct write
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0344501 - 3.0566540 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Krátký, Stanislav - Pokorná, Zuzana
Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM.
[Calibration standard sample for secondary electron spectroscopy in SEM.]
Internal code: APL-2022-11 ; 2022
Technical parameters: Kalibrační vzorek obsahující mikrometrové struktury s různých materiálů vykazující odlišnou emisivitu sekundárních elektronů. Tloušťka jednotlivých materiálů je 150um a šířka proužků ze stříbra a chromu je 2 respektive 1 um.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : test sample * scanning electron microscope * secondary electron spectrometer
OECD category: Materials engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337867 - 4.0550826 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Pokorná, Zuzana - Dupák, Libor
Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů.
[Manipulator with micrometric shift for a miniaturised secondary electron spectrometer.]
Internal code: APL-2021-06 ; 2021
Technical parameters: Manipulátor držáku vzorku tvaru pravidelného osmihranu, kde pojezdy jsou realizovány formou tří bronzových pružin. Ty svírají mezi sebou úhel 120°, přičemž umožňují posun v rozsahu +- 1mm s přesností 10μm v každé ose nezávisle.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D., fumici@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : manipulator * scanning electron microscope * secondary electron spectrometer
OECD category: Materials engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326134 - 5.0517195 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Dupák, Libor - Pokorná, Zuzana
Miniaturizovaný analyzátor sekundárních elektronů.
[Miniaturized secondary electron analyser.]
Internal code: APL-2019-19 ; 2019
Technical parameters: Funkční vzorek byl vyroben s cílem ověřit vlastnosti návrhu a konstrukce miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů umístitelného dovnitř komory rastrovacího elektronového mikroskopu přímo na manipulátor vzorku. Spektrometr obsahuje ve směru průletu elektronů tyto prvky: vzorek, elektrodu vymezující úhlový rozsah diagnostikovaných elektronů, dvojici elektrod toroidního tvaru, napěťový a detekční systém. Energie primárního svazku: 2 keV, energie zkoumaných elektronů 0–50 eV, výška 28 mm, průměr 35 mm
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika Ph.D., mika@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR TG03010046
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : secondary electron * energy filtering * toroidal analyser
OECD category: Coating and films
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0302484 - 6.0096520 - ÚPT 2008 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip
Úhlově citlivý detektor pomalých zpětně odražených elektronů.
[Angular sensitive detector of low energy electrons.]
Internal code: 5532 ; 2006
Technical parameters: Polohově nastavitelný detekční systém na bázi krystalu YAG.
Economic parameters: Nelze přesně stanovit.
R&D Projects: GA ČR GA102/05/2327
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : low energy electrons * scanning electron microscope
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0155869