Search results
- 1.0601730 - ÚPT 2025 CZ cze V - Research Report
Horáček, Miroslav - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Meluzín, Petr - Košelová, Zuzana - Chlumská, Jana - Kolařík, Vladimír - Knápek, Alexandr
SMV-2024-03: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
[SMV-2024-03: Development of test specimens for SEM.]
Brno: TESCAN Brno a.s., 2024. 4 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0359045 - 2.0579897 - ÚPT 2024 RIV CZ cze V - Research Report
Kolařík, Vladimír - Krátký, Stanislav - Kopal, Jaroslav
SMV-2023-04: Šablona pro bio–aplikace připravená elektronovou litografií.
[SMV-2023-04: Template for bio–applications prepared by EBL.]
Brno: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologická, 2023. 10 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : e–beam lithography * templates and replicas
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0348682 - 3.0579884 - ÚPT 2024 RIV CZ cze V - Research Report
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2023-01: Reliéfní struktury na principu diftraktivní optiky.
[SMV-2023-01: Relief structures based on diffractive optics.]
Brno: IQS nano s.r.o., 2023. 32 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : diffractive optical structures * relief structure * e-beam lithography
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0348668 - 4.0579883 - ÚPT 2024 RIV CZ cze V - Research Report
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2023-02: Reliéfní optické prvky pro tvarování světelných svazků.
[SMV-2023-02: Relief optical elements for shaping light bundles.]
Brno: IQS Group s.r.o., 2023. 31 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : relief optical elements * e-beam lithography
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0348665 - 5.0579072 - ÚPT 2024 RIV CZ cze V - Research Report
Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Meluzín, Petr - Košelová, Zuzana - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Knápek, Alexandr
SMV-2023-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
[SMV-2023-06: Development of test specimens for SEM.]
Brno: TESCAN Brno a.s., 2023. 4 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0347946 - 6.0579070 - ÚPT 2024 RIV CZ cze V - Research Report
Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Meluzín, Petr - Košelová, Zuzana - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Knápek, Alexandr
SMV-2023-05: DI2023.
[SMV-2023-05: DI2023.]
Brno: DELONG INSTRUMENTS a.s., 2023. 4 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0347943 - 7.0566446 - ÚPT 2023 RIV CZ cze V - Research Report
Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Chlumská, Jana - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Krátký, Stanislav
SMV-2022-57: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
[SMV-2022-57: Development of test specimens for SEM.]
Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2022. 5 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337763 - 8.0565756 - ÚPT 2023 RIV CZ cze V - Research Report
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2022-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky.
[SMV-2022-01: Relief structures based on diffractive optics.]
Brno: IQS nano s.r.o., 2022. 21 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : diffractive optical structures * relief structure * e-beam lithography
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337265 - 9.0549960 - ÚPT 2022 RIV CZ cze V - Research Report
Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Chlumská, Jana - Kolařík, Vladimír - Krátký, Stanislav
SMV-2021-31: TELIGHT zaměřovací obrazec.
[SMV-2021-31: TELIGHT aiming pattern.]
Brno: TELIGHT Brno, s.r.o., 2021. 8 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : e-beam lithography * optics * reactive ion etching
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0325852 - 10.0549956 - ÚPT 2022 RIV CZ cze V - Research Report
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2021-07: Reliéfní mikrostruktury na principu difraktivní optiky.
[SMV-2021-07: Relief microstructures based on diffractive optics.]
Brno: IQS Group s.r.o., 2021. 4 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : diffractive optical structures * relief structure * e-beam lithography
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0325849