0494044 - FZÚ 2019 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Olejníček, Jiří - Šmíd, Jiří - Hubička, Zdeněk - Čada, MartinVysokorychlostní depozice homogenních oxidových vrstev prostřednictvím vícetryskového systému žhavených dutých katod.
[High rate deposition of homogeneous oxide films by multi-nozzle system of hot hollow cathodes.]
Internal code: TF01000084-2018V003 ; 2018
Technical parameters: Ohledně výsledku byla dne 28.2.2018 uzavřena licenční smlouva mezi Fyzikálním ústavem a společností IQ Structures, s.r.o. (IČ: 24279501)
Economic parameters: Ve srovnání s reaktivním DC magnetronovým naprašováním umožňuje tato technologie několikanásobné zvýšení depoziční rychlosti oxidových vrstev. Tento nárůst může v závislosti na naprašovaném materiálu dosáhnout až desetinásobku při současném zachování energetické náročnosti depozičního procesu. Technologie byla testována v průmyslové aparatuře společnosti Emerson & Renwick na vrstvách oxidu titaničitého (TiO2) a oproti DC-MS bylo dosaženo trojnásobné depoziční rychlosti.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TF01000084
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : hollow cathode * plazma nozzle * deposition * thin films
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0287285
