Search results

  1. 1. 0499948 - FZU-D 2019 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Olejníček, Jiří - Kšírová, Petra - Straňák, Vítězslav - Adámek, Petr - Tvarog, Drahoslav
    Reaktivní HiPIMS depoziční systém optimalizovaný pro tenké optické vrstvy.
    [Reactive HiPIMS deposition system optimised for optical thin films.]
    Internal code: FVG1/FZU/2018 ; 2018
    Technical parameters: Mezní tlak plazmového reaktoru: 5 10-8 mbar, maximální střední výkon na jeden magnetron: 1000 W, rozměry terčů magnetronů: 50 mm, maximální výkon do ICP elektrody: 400 W, maximální DC magnetické pole
    Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    R&D Projects: GA MPO FV10312
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : sputtering * thin films * plasma * deposition * hollow cathode
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    OBOR OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0292132
     

  2. 2. 0486974 - FZU-D 2018 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Tvarog, Drahoslav - Pultar, M. - Šmíd, Jiří - Straňák, Vítězslav - Olejníček, Jiří - Poruba, Aleš - Vaněk, J. - Pečiva, L. - Lukašík, P. - Dolák, J.
    Surfatronový plazmový zdroj pro substráty o velikosti do 100 mm.
    [Surfatron plasma source for substrates up to 100 mm.]
    Internal code: FV1/FZU/2017 ; 2017
    Technical parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    Economic parameters: Vyvinutý plazmový zdroj umožní zkonstruovat a vyrobit unikátní PE-ALD depoziční systém. Náklady na výrobu celého zařízení nepřesáhly 50 000 Kč.
    R&D Projects: GA TA ČR TF03000025
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : Microwave surfatron * thin films * low-temperature plasma * ALD * deposition * plasma diagnostics
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    OBOR OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0281681
     

  3. 3. 0465021 - FZU-D 2017 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin
    Vícetryskový PVD depoziční systém.
    [Multijet PVD deposition system.]
    Internal code: UHV-4DK/FZU2016 ; 2016
    Technical parameters: Výsledek je tvořen UHV systémem čerpaným rotační a turbomolekulární vývěvou a obsahuje 4 lineární plazmové trysky pracující na principu výboje v duté katodě. Systém je průběžně upgradován. Ve spouštěcí konfi-guraci měl následující technické parametry: mezní tlak p0: 1x10-3 Pa, pracovní tlak pw: 0.1 – 100 Pa, maximální napětí na zdroji: Um: 600 V, maximální výbojový proud: Im: 5 A, příčný rozměr substrátu lm: až 20 cm, maximální depoziční rychlost dosažená pro TiO2 vrstvy rm: 20 μm/hod.
    Economic parameters: Vyvinutý depoziční systém umožňuje vysokorychlostní depozici homogenních oxidových vrstev. Oproti dostupným komerčním magnetronovým systémům dosahuje v DC režimu až desetinásobnou depoziční rychlost.
    R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TF01000084
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : hollow cathode discharge * multi plasma-jet * thin films * PVD * sputtering
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0263763
     

  4. 4. 0434023 - FZU-D 2015 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Adámek, Petr - Olejníček, Jiří - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán
    Měřící systém V-A charakteristik solárních článků.
    [Solar Cell I-V Curve Measurement System.]
    Internal code: Vam-XIV/A/DFU2014 ; 2014
    Technical parameters: Vyvinutý adaptér Vam-XIV/A/DFU2014 ve spojení s řídící jednotkou DSPC umožňuje měření voltampérové charakteristiky fotovoltaických (PV) článků a polovodičových přechodů s vysokým rozlišením proudu.
    Economic parameters: Vyvinutý měřící adaptér významně automatizuje a zkracuje dobu měření jednotlivých testovaných vzorků. Náklady na výrobu celého adaptéru nepřesáhly částku 10 000 Kč.
    R&D Projects: GA MŠk LH12045
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : solar cell diagnostics * plasma * measuring system * thin film deposition processes
    Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0238166
     

  5. 5. 0424549 - FZU-D 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
    Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
    [An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
    Internal code: IONEU2013 ; 2013
    Technical parameters: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
    Economic parameters: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
    R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
    Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230613
     

  6. 6. 0424548 - FZU-D 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Olejníček, Jiří - Jastrabík, Lubomír
    Měřicí systém pro mikrovlnnou diagnostiku plazmatu.
    [Measuring system for microwave diagnostic of the plasma.]
    Internal code: TRMW2013 ; 2013
    Technical parameters: Vyvinutá řídící jednotka umožňuje časově rozlišená měření a s opakovaným měřením výrazně potlačuje šum, rychlost a rozsah měření je dána především komerčním generátorem do 20 GHz a mikrovlnnými detektory
    Economic parameters: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
    R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
    Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : microwave diagnostics * plasma * measuring system * plasma processes
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230611
     

  7. 7. 0424537 - FZU-D 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří - Lukašík, P. - Piják, A.
    Měřicí systém pro časově rozlišenou sondovou diagnostiku plazmatu.
    [Acquisition system for time-resolved the Langmuir probe diagnostics of discharges.]
    Internal code: TRSAP/FZÚ-SVCS/2012 ; 2013
    Technical parameters: Rychlosti měření větší než 3 MSPS, rozsah kmitočtů a různá délka budících impulsů výboje (plazmatu), od jednotek Hz do jednotek MHz, časové rozlišení od deseti ns do stovek ms.
    Economic parameters: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli elektronický měřicí systém pro časově rozlišenou sondovou diagnostiku plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    R&D Projects: GA TA ČR TA01011740
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : Langmuir probe * pulse * time resolved
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230608
     

  8. 8. 0424535 - FZU-D 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Lukašík, P. - Olejníček, Jiří - Piják, A.
    Programovatelný Dip-Coater pro depozici tenkých vrstev v roztocích.
    [Programmable Dip-Coater for deposition of thin films in chemical solutions.]
    Internal code: PDIPCO/FZÚ/2013 ; 2013
    Technical parameters: Rychlost pohybu držáku nastavitelná: 0,00003 mm/s-1 ÷ 10 mm/s-1. Krok nastavení rychlosti držáku:0,00003 mm/s-1. Nastavitelná doba setrvání vzorku při ponoření: 0 s ÷ 32767 s.
    Economic parameters: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli programovatelné zařízení pro depozici tenkých vrstev z roztoků ("Dip-Coater"). Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum.
    R&D Projects: GA TA ČR TA01011740
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : dip coaterTA01011740 * thin film * automatické řízení
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230599
     

  9. 9. 0424534 - FZU-D 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
    Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu.
    [Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems.]
    Internal code: DPCS/FZÚ/2013 ; 2013
    Technical parameters: Rychlost 85 KSPS, přesnost měření je 0,024%, vstupní napětí +- 10 V
    Economic parameters: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
    Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : pohyb substrátu * PC řízený
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230598
     

  10. 10. 0390208 - FZU-D 2013 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Lukašík, P. - Piják, A. - Dolák, J. - Martinek, P. - Pitrun, J. - Rek, Š. - Konečný, L. - Mareš, G. - Štepánek, J. - Jakeš, J. - Křenek, Z. - Joštic, M. - Čada, Martin - Kment, Štěpán - Straňák, Vítězslav - Hubička, Zdeněk - Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Potocký, Štěpán
    Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály.
    [Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels.]
    Internal code: PST2/FZÚ-SVCS/2012 ; 2012
    Technical parameters: Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012.
    Economic parameters: Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný
    R&D Projects: GA TA ČR TA01011740
    Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
    Keywords : microwave * surfatron * thin films * vacuum reactor * plasma * deposition * plasma jet * flowmeter
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0219084