Search results
- 1.0552141 - FZÚ 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav - Hubička, Zdeněk - Poruba, A. - Dolák, J.
ECWR plazma zdroj.
[ECWR plasma source.]
Internal code: FVMF3/FZU/2021 ; 2021
Technical parameters: Vnější průměr vstupní části ECWR zdroje: 6 mm Vnitřní průměr vstupní části ECWR zdroje: 4 mm Vnější průměr pracovní části ECWR zdroje: 25 mm Vnitřní průměr pracovní části ECWR zdroje: 23 mm
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TM01000039
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : electron cyclotron wave resonance * minimal Fab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0327313 - 2.0539967 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav - Hubička, Zdeněk - Poruba, A. - Dolák, J.
ICP plazma zdroj.
[ICP plasma source.]
Internal code: FVMF2/FZU/2020 ; 2020
Technical parameters: Vnější průměr vstupní části ICP zdroje: 6 mm. Vnitřní průměr vstupní části ICP zdroje: 4 mm. Vnější průměr pracovní části ICP zdroje: 25 mm. Vnitřní průměr pracovní části ICP zdroje: 23 mm.
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TM01000039
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : inductively coupled plasma * Minimal Fab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0317650 - 3.0537056 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav - Kapran, Anna - Hubička, Zdeněk - Poruba, A. - Dolák, J.
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém.
[Optimized surfatron plasma source for PE-ALD deposition system.]
Internal code: FVMF1/FZU/2020 ; 2020
Technical parameters: Vnější průměr křemenné trubičky: 6 mm, vnitřní průměr křemenné trubičky: 4 mm, výstupní tryska: kónická tryska, typ surfatron: mosazný rezonátor typu SAIREM s integrovanou přizpůsobovací jednotkou.
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TM01000039
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : microwave surfatron * MinimalFab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314808 - 4.0486974 - FZÚ 2018 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Tvarog, Drahoslav - Pultar, M. - Šmíd, Jiří - Straňák, Vítězslav - Olejníček, Jiří - Poruba, Aleš - Vaněk, J. - Pečiva, L. - Lukašík, P. - Dolák, J.
Surfatronový plazmový zdroj pro substráty o velikosti do 100 mm.
[Surfatron plasma source for substrates up to 100 mm.]
Internal code: FV1/FZU/2017 ; 2017
Technical parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Economic parameters: Vyvinutý plazmový zdroj umožní zkonstruovat a vyrobit unikátní PE-ALD depoziční systém. Náklady na výrobu celého zařízení nepřesáhly 50 000 Kč.
R&D Projects: GA TA ČR TF03000025
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : Microwave surfatron * thin films * low-temperature plasma * ALD * deposition * plasma diagnostics
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0281681 - 5.0390208 - FZÚ 2013 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Lukašík, P. - Piják, A. - Dolák, J. - Martinek, P. - Pitrun, J. - Rek, Š. - Konečný, L. - Mareš, G. - Štepánek, J. - Jakeš, J. - Křenek, Z. - Joštic, M. - Čada, Martin - Kment, Štěpán - Straňák, Vítězslav - Hubička, Zdeněk - Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Potocký, Štěpán
Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály.
[Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels.]
Internal code: PST2/FZÚ-SVCS/2012 ; 2012
Technical parameters: Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012.
Economic parameters: Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný
R&D Projects: GA TA ČR TA01011740
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : microwave * surfatron * thin films * vacuum reactor * plasma * deposition * plasma jet * flowmeter
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0219084 - 6.0371302 - FZÚ 2012 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Šmíd, Jiří - Hubička, Zdeněk - Straňák, Vítězslav - Churpita, Olexandr - Čada, Martin - Jastrabík, Lubomír - Olejníček, Jiří - Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Potocký, Štěpán - Lukašík, P. - Piják, A. - Dolák, J. - Martinek, P. - Pitrun, J. - Rek, Š. - Konečný, L. - Mareš, G. - Štepánek, J. - Jakeš, J. - Křenek, Z. - Joštic, M.
Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01.
[Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01.]
Internal code: PST1/FZÚ-SVCS/2011 ; 2011
Technical parameters: Vnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR TA01011740
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : microwave * surfatron * thin films * plasma * deposition * plasma jet * surface wave
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0204848