Search results
- 1.0032087 - ÚJF 2006 RIV TR eng M - Monography Chapter
Supiot, P. - Macková, Anna - Vivien, C. - Granier, A. - Bousquet, CH. - Boufayed, F. - Escaich, D. - Raynoad, P. - Strýhal, Z. - Pavlík, Josef
Treatment of Organosilicon Thin Films by Exposure to Different O2 Based Plasma and Afterglow Conditions.
[Plazmové leptání organokřemíkových tenkých vrstev modifikovaných za různých podmínek aktivního a rozpadajícího se plazmatu.]
Plasma Polymers and Related Materials. Ankara: Hacettepe University Press, 2005, s. 53-58. ISBN 975-491-194-0
R&D Projects: GA MŠk OC 527.100; GA MŠk 1P05OC014
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10480505
Keywords : organosilicon * PACVD * PECVD * RBS analysis
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0132691