Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Project Name
GA15-00863S
Grant Agency
GA ČR
Research years
2015 - 2017
Grant Recipient
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Participants
Čada
Catal.org.
CAV
References
(2) - Abstrakt
(9) - Článek v odborném časopise
File
Projekty
7.
Project
Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.
Project Name
TF03000025
Grant Agency
GA TA ČR
Research years
2016 - 2019
Grant Recipient
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Participants
Čada
Catal.org.
CAV
References
(1) - Článek v odborném časopise
(1) - Prototyp, funkční vzorek
(1) - Užitný vzor, průmyslový vzor
File
Projekty
8.
Project
Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev
Project Name
LD12002
Grant Agency
GA MŠk
Research years
2012 - 2013
Grant Recipient
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Participants
Čada
Catal.org.
CAV
References
(5) - Článek v odborném časopise
(1) - Užitný vzor, průmyslový vzor
File
Projekty
9.
Project
Výzkum parametrů nízkoteplotního plazmatu v systémech planárního magnetronu, systémů s dutými katodami a mikrovlnného surfatronu.
Create a new version of the record only if you will be modifying stored files, as it will have a new DOI assigned. If you are only changing the metadata description and not the files, edit the current version of the record.
This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about
how we use cookies.