0549777 - ÚFP 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Procháska, František - Karabyn, Vasyl - Vlček, Ivan - Zobač, Martin - Nejezchleb, K.Funkční vzorek bezkontaktního korekčního nástroje na principu fokusace IBF.
[Functional sample of a non-contact correction tool based on focused IBF.]
Internal code: TN01000008/02-V009 ; 2021
Technical parameters: Délka nástroje = 43 mm, Průměr nástroje = 98 mm, Počet elektrod: 3, Pracovní vzdálenost: 5 mm, Rozsah napětí: + 0 až +1250 V (brzdný režim), Parametry iontového zdroje: Beam 1000 V, Acc -500 V, průtok plynu Ar 1,5 sccm, výkon RF zdroje 75 W
Economic parameters: Nejsou vyčísleny
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:61389021 ; RVO:68081731
Keywords : Ion beam figuring * Electrostatic lens * Ion beam focusing
OECD category: Materials engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0325686
