0476976 - FZÚ 2017 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Rus, Bedřich - Bakule, Pavel - Reyné, S. - Giambruno, F. - Nejdl, Jaroslav
Laserová litografie.
[Vacuum chamber suitable for Laser Printing.]
Internal code: AV15007 ; 2015
Technical parameters: Parametry čerpání: flow of ~ 1600 l/s with a DN250 (for VC1, VC3 and VC4) and one with a flow of ~ 3200 l/s with a DN320 (for VC2) from Oerlikon Leybold.
Economic parameters: Funkční vzorek je v současné době využíván příjemcem. Pořizovací hodnota je cca. 50 000,- Kč bez DPH. Hlavním ekonomickým přínosem je nízká pořizovací cena díky optimalizaci tohoto funkčního vzorku.
R&D Projects: GA MŠMT ED1.1.00/02.0061
Grant - others:ELI Beamlines(XE) CZ.1.05/1.1.00/02.0061
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : laser cutting * patterning * litography
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0273377