Search results
- 1.0045244 - ÚFM 2007 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Zajíčková, L. - Buršíková, V. - Sťahel, P. - Buršík, Jiří - Peřina, V. - Macková, A. - Dubroka, A.
Deposition of Organosilicon Polymer Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition.
[Depozice organosilanových polymerních vrstev plazmově připravených podpořených CVD.]
International Conference Solid State Chemistry 2006 /7./. Pardubice: Univerzita Pardubice, 2006, P65-P65.
[International Conference Solid State Chemistry 2006 /7./. Pardubice (CZ), 24.09.2006-29.09.2006]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20410507
Keywords : thin films * plasma
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0137823