Search results
- 1.0566540 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Krátký, Stanislav - Pokorná, Zuzana
Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM.
[Calibration standard sample for secondary electron spectroscopy in SEM.]
Internal code: APL-2022-11 ; 2022
Technical parameters: Kalibrační vzorek obsahující mikrometrové struktury s různých materiálů vykazující odlišnou emisivitu sekundárních elektronů. Tloušťka jednotlivých materiálů je 150um a šířka proužků ze stříbra a chromu je 2 respektive 1 um.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : test sample * scanning electron microscope * secondary electron spectrometer
OECD category: Materials engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337867 - 2.0550826 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Pokorná, Zuzana - Dupák, Libor
Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů.
[Manipulator with micrometric shift for a miniaturised secondary electron spectrometer.]
Internal code: APL-2021-06 ; 2021
Technical parameters: Manipulátor držáku vzorku tvaru pravidelného osmihranu, kde pojezdy jsou realizovány formou tří bronzových pružin. Ty svírají mezi sebou úhel 120°, přičemž umožňují posun v rozsahu +- 1mm s přesností 10μm v každé ose nezávisle.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D., fumici@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : manipulator * scanning electron microscope * secondary electron spectrometer
OECD category: Materials engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326134 - 3.0517195 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Dupák, Libor - Pokorná, Zuzana
Miniaturizovaný analyzátor sekundárních elektronů.
[Miniaturized secondary electron analyser.]
Internal code: APL-2019-19 ; 2019
Technical parameters: Funkční vzorek byl vyroben s cílem ověřit vlastnosti návrhu a konstrukce miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů umístitelného dovnitř komory rastrovacího elektronového mikroskopu přímo na manipulátor vzorku. Spektrometr obsahuje ve směru průletu elektronů tyto prvky: vzorek, elektrodu vymezující úhlový rozsah diagnostikovaných elektronů, dvojici elektrod toroidního tvaru, napěťový a detekční systém. Energie primárního svazku: 2 keV, energie zkoumaných elektronů 0–50 eV, výška 28 mm, průměr 35 mm
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika Ph.D., mika@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR TG03010046
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : secondary electron * energy filtering * toroidal analyser
OECD category: Coating and films
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0302484