Search results
- 1.0396132 - FZÚ 2014 RIV cze P1 - User Module
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kubart, T. - Adámek, Petr - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev.
[System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process.]
2013. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 16.09.2013. Utility model number: 25867
R&D Projects: GA TA ČR TA01011740; GA MŠMT LH12043
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : ion flux * neutral particles * magnetic field * deposition rate
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0223966 - 2.0053696 - FZÚ 2007 RIV JP eng J - Journal Article
Olejníček, Jiří - Hubička, Zdeněk - Kříž, P. - Adámek, P. - Churpita, Olexandr - Virostko, Petr - Jastrabík, Lubomír - Blažek, J.
Holographic Interferometry of Barrier-Torch Discharge in Argon and Helium.
[Holografická interferometrie barierového tryskového výboje v argonu a heliu.]
Japanese Journal of Applied Physics. Roč. 45, 10B (2006), s. 8123-8127. ISSN 0021-4922. E-ISSN 1347-4065
R&D Projects: GA AV ČR IBS1010203
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100521; CEZ:AV0Z10100520
Keywords : barier-torch discharge * holografic interferometry * neutral particles temperature
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Impact factor: 1.222, year: 2006
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0141882