Search results
- 1.0567523 - FZÚ 2023 RIV GB eng J - Journal Article
Mareš, P. - Dubau, M. - Polášek, J. - Mates, Tomáš - Kozák, T. - Vyskočil, J.
High deposition rate films prepared by reactive HiPIMS.
Vacuum. Roč. 191, Sep (2021), č. článku 110329. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715
R&D Projects: GA MŠMT LM2018110; GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760; GA MPO FV30177
Grant - others:OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760; AV ČR(CZ) StrategieAV21/6
Program: StrategieAV
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : reactive magnetron sputtering * HiPIMS * Monte-carlo simulations * deposition rate * sputtering yield
OECD category: Coating and films
Impact factor: 4.110, year: 2021
Method of publishing: Limited access
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110329
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0338777 - 2.0537050 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Hnilica, J. - Klein, P. - Vašina, P.
Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů.
[Device for deposition rate increase in HiPIMS using pulse packages.]
Internal code: FVNCK1/FZU/2020 ; 2020
Technical parameters: Délka pulzu: 30 μs, vzdálenost mezi pulzy v balíčku: 20 μs, střída: 5 %, počet pulzů:4, pracovní tlak v reaktoru: 1 Pa
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR TN01000038
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : sputtering * thin films * plasma * deposition * deposition rate * pulse package * ionization fraction
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314801 - 3.0524998 - FZÚ 2021 RIV CH eng J - Journal Article
Olejníček, Jiří - Šmíd, Jiří - Čada, Martin - Kšírová, Petra - Kohout, Michal - Perekrestov, Roman - Tvarog, D. - Kment, Štěpán - Kmentová, H. - Hubička, Zdeněk
High rate deposition of photoactive TiO2 films by hot hollow cathode.
Surface and Coatings Technology. Roč. 383, Feb (2020), s. 1-10, č. článku 125256. ISSN 0257-8972
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760; GA MŠMT EF16_013/0001406; GA ČR GA17-20008S
Grant - others:OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760; OP VVV - SAFMAT(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_013/0001406
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : TiO2 * hollow cathode discharge * sputtering * thermal evaporation * deposition rate
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impact factor: 4.158, year: 2020
Method of publishing: Limited access
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.125256
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0309201 - 4.0519372 - FZÚ 2020 RIV CH eng J - Journal Article
Hajihoseini, H. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Ünaldi, S. - Raadu, M.A. - Brenning, N. - Gudmundsson, J.T. - Lundin, D.
The effect of magnetic field strength and geometry on the deposition rate and ionized flux fraction in the HiPIMS discharge.
Plasma. Roč. 2, č. 2 (2019), s. 201-221. E-ISSN 2571-6182
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) EF16_019/0000760; GA ČR GA19-00579S
Grant - others:OP VVV - SOLID21(XE) CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : ionized physical vapor deposition * magnetron sputtering * high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) * ionized flux fraction * deposition rate
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Method of publishing: Open access
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0304364File Download Size Commentary Version Access 0519372.pdf 0 1.2 MB CC licence Publisher’s postprint open-access - 5.0424549 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
[An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
Internal code: IONEU2013 ; 2013
Technical parameters: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Economic parameters: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230613 - 6.0396132 - FZÚ 2014 RIV cze P1 - User Module
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kubart, T. - Adámek, Petr - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev.
[System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process.]
2013. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 16.09.2013. Utility model number: 25867
R&D Projects: GA TA ČR TA01011740; GA MŠMT LH12043
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : ion flux * neutral particles * magnetic field * deposition rate
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0223966 - 7.0390204 - FZÚ 2013 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kšírová, Petra - Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy.
[Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes.]
Internal code: FS3/FZÚ/2012 ; 2012
Technical parameters: Typ termočlánku kalorimetrické sondy-K. Základní frekvence QCM senzoru 5000,00 kHz. Frekvenční rozsah pulzního napětí pro měření iontového toku 50-400 kHz. Frekvence RF zdroje harmonického napětí pro měření iontového toku 1 MHz Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: FS3/FZÚ/2012
Economic parameters: V rámci projektu TAČR byl vytvořen měřící diagnostický systém pro velkoplošné depoziční techniky. Tento systém bude součástí realizovaného vícetryskového depozičního MW systému.
R&D Projects: GA TA ČR TA01011740
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : heating flux * plasma * ion flux * deposition * thin films * deposition rate
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0219081 - 8.0355011 - ÚI 2011 RIV PL eng J - Journal Article
Thomas, J. - Jílek, K. - Brabec, Marek
Inversion of the Jacobi-Porstendörfer Room Model for the Radon Progeny.
Nukleonika. Roč. 55, č. 4 (2010), s. 433-437. ISSN 0029-5922. E-ISSN 1508-5791
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10300504
Keywords : Jacobi room model * inversion and invariants of the model * unattached radon daughters * attachment rate * deposition rate
Subject RIV: BB - Applied Statistics, Operational Research
Impact factor: 0.321, year: 2010
http://www.nukleonika.pl/www/back/full/vol55_2010/v55n4p433f.pdf
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0193874 - 9.0327235 - ÚCHP 2010 RIV NL eng J - Journal Article
Hussein, T. - Kubincová, L. - Ondráčková, Lucie - Hruška, A. - Dohányosová, Pavla - Hemerka, J. - Smolík, Jiří
Deposition of Aerosol Particles on Rough Surfaces Inside a Test Chamber.
[Depozice aerosolových částic na drsných površích uvnitř testovací komory.]
Building and Environment. Roč. 44, č. 10 (2009), s. 2056-2063. ISSN 0360-1323. E-ISSN 1873-684X
R&D Projects: GA ČR GA101/04/1190; GA ČR GA101/07/1361
Institutional research plan: CEZ:AV0Z40720504
Keywords : deposition rate * hydraulically smooth * surface roughness
Subject RIV: CF - Physical ; Theoretical Chemistry
Impact factor: 1.797, year: 2009
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0174097 - 10.0318562 - ÚCHP 2009 RIV GB eng J - Journal Article
Hussein, T. - Hruška, A. - Dohányosová, Pavla - Ondráčková, Lucie - Hemerka, J. - Kulmala, M. - Smolík, Jiří
Deposition Rates on Smooth Surfaces and Coagulation of Aerosol Particles Inside a Test Chamber.
[Depoziční rychlosti na hladkých površích a koagulace aerosolových částic v experimentální komoře.]
Atmospheric Environment. Roč. 43, č. 4 (2009), s. 905-914. ISSN 1352-2310. E-ISSN 1873-2844
R&D Projects: GA ČR GA101/04/1190; GA ČR GA101/07/1361
Institutional research plan: CEZ:AV0Z40720504
Keywords : deposition rate * turbophoresis * coagulation
Subject RIV: CF - Physical ; Theoretical Chemistry
Impact factor: 3.139, year: 2009
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0167942