0449277 - ÚPT 2016 RIV CZ cze C - Conference Paper (international conference)
Krátký, Stanislav - Meluzín, Petr - Urbánek, Michal - Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír
Amplitudově fázová vortexová maska.
[An Amplitude-Phase Vortex Photo Mask.]
Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2015, s. 32-33. ISBN 978-80-87441-16-9.
[LASER 55. Třešť (CZ), 21.10.2015-23.10.2015]
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020233
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : photo mask * vortex beam * e-beam lithography
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0251045
Krátký, Stanislav - Meluzín, Petr - Urbánek, Michal - Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír
Amplitudově fázová vortexová maska.
[An Amplitude-Phase Vortex Photo Mask.]
Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2015, s. 32-33. ISBN 978-80-87441-16-9.
[LASER 55. Třešť (CZ), 21.10.2015-23.10.2015]
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020233
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : photo mask * vortex beam * e-beam lithography
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0251045