0336643 - ÚPT 2010 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Klein, Pavel
Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony.
[Specimen manipulator for the ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons.]
Internal code: 5511-2 ; 2009
Technical parameters: Vysoce stabilní manipulátor pro práci v tlaku 10E-8 Pa, plynule regulovatelné pohyby +- 5 mm v rovině v obou směrech a +- 10,5 mm ve svislém směru, přesný náklon +-5 deg ve dvou navzájem kolmých směrech, rotace +- 8 deg
Economic parameters: Funkční vzor je doprovázen kompletní výkresovou dokumentací a je experimentálně odzkoušen při dlouhodobém zkušebním provozu. Je vhodný pro UHV aparatury ke studiu čistých povrchů pevných látek.
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : UHV specimen stage * surface analysis
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0180832
Klein, Pavel
Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony.
[Specimen manipulator for the ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons.]
Internal code: 5511-2 ; 2009
Technical parameters: Vysoce stabilní manipulátor pro práci v tlaku 10E-8 Pa, plynule regulovatelné pohyby +- 5 mm v rovině v obou směrech a +- 10,5 mm ve svislém směru, přesný náklon +-5 deg ve dvou navzájem kolmých směrech, rotace +- 8 deg
Economic parameters: Funkční vzor je doprovázen kompletní výkresovou dokumentací a je experimentálně odzkoušen při dlouhodobém zkušebním provozu. Je vhodný pro UHV aparatury ke studiu čistých povrchů pevných látek.
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : UHV specimen stage * surface analysis
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0180832