0081736 - ÚJF 2007 RIV GB eng J - Journal Article
Drabik, M. - Kousal, J. - Pinosh, Y. - Choukourov, A. - Biederman, H. - Slavínská, D. - Macková, Anna - Boldyryeva, Hanna - Pešička, J.
Composite SiOx/hydrocarbon plasma polymer films prepared by RF magnetron sputtering of SiO2 and polyimide.
[Kompositní vrstvy polymeru a SiOx připravené RF magnetronovým naprašováním SiO2 a polyimidu.]
Vacuum. Roč. 81, č. 7 (2007), s. 920-927. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10480505
Keywords : composite films * magnetron * sputtering * polyimide * SiO2
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Impact factor: 0.881, year: 2007
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0145514
Drabik, M. - Kousal, J. - Pinosh, Y. - Choukourov, A. - Biederman, H. - Slavínská, D. - Macková, Anna - Boldyryeva, Hanna - Pešička, J.
Composite SiOx/hydrocarbon plasma polymer films prepared by RF magnetron sputtering of SiO2 and polyimide.
[Kompositní vrstvy polymeru a SiOx připravené RF magnetronovým naprašováním SiO2 a polyimidu.]
Vacuum. Roč. 81, č. 7 (2007), s. 920-927. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10480505
Keywords : composite films * magnetron * sputtering * polyimide * SiO2
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Impact factor: 0.881, year: 2007
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0145514