0517217 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Research Report
Krátký, Stanislav - Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2019-05: Fázové mřížky.
[SMV-2019-05: Phase grids.]
Brno: Ústav termomechaniky AV ČR, 2019. 5 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : e-beam lithography * diffractive grating * reactive ion etching
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0302499
Krátký, Stanislav - Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2019-05: Fázové mřížky.
[SMV-2019-05: Phase grids.]
Brno: Ústav termomechaniky AV ČR, 2019. 5 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : e-beam lithography * diffractive grating * reactive ion etching
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0302499