Number of the records: 1

Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu

SYSNO	0476548
Title	Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu
Title	A method of measuring deposition low pressure plasma using wave resonance of electron cyclotron waves and a device for performing this method
Author(s)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Adámek, Jan (FZU-D) Straňák, Vítězslav (FZU-D)_{RID, ORCID}
Issue data	2017
Name of the owner	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i
Date of the patent acceptance	31.05.2017
Patent no. or utility model no. or industrial design no.	306799
Patent category	E - Úřad průmyslového vlastnictví (patentový úřad ČR)
Code of the issuer name	CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague
Document Type	Patentový dokument
Grant	TA03010743 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
Institutional support	FZU-D - RVO:68378271
Language	cze
Keywords	plasma deposition * electrone-cyclotrone wave * acoustic emission
URL	https://isdv.upv.cz/webapp/webapp.pts.det?xprim=10195504&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0273025

Number of the records: 1