Number of the records: 1

Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu

SYSNO	0424549
Title	Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
Title	An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma
Author(s)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID}
Issue data	2013
Subspecies	Functional Specimen
Int.Code	IONEU2013
Technical parameters	Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Economic parameters	Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
Owner Name	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	IONEU2013
Document Type	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	TA01010517 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
	M100101215, CZ - Czech Republic
Institutional support	FZU-D - RVO:68378271
Language	cze
Country	CZ
Keywords	deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0230613

Number of the records: 1