Number of the records: 1

Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu

SYSNO	0424534
Title	Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu
Title	Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems
Author(s)	Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID}
Issue data	2013
Subspecies	Functional Specimen
Int.Code	DPCS/FZÚ/2013
Technical parameters	Rychlost 85 KSPS, přesnost měření je 0,024%, vstupní napětí +- 10 V
Economic parameters	V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Owner Name	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	DPCS/FZÚ/2013
Document Type	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	TA01010517 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
	M100101215, CZ - Czech Republic
Institutional support	FZU-D - RVO:68378271
Language	cze
Country	CZ
Keywords	pohyb substrátu * PC řízený
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0230598

Number of the records: 1