Number of the records: 1
SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM
- 1.
SYSNO 0536616 Title SMV-2020-23: Vývoj testovacích preparátů pro REM Title SMV-2020-23: Development of test specimens for SEM Author(s) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pokorná, Zuzana (UPT-D) RID, ORCID, SAIIssue data Brno: Tescan Brno s.r.o., 2020 Document Type Výzkumná zpráva Grant Non-public resources Language cze Country CZ Keywords relief structure: e-beam lithography * silicon etching * microlithography Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0314396
Number of the records: 1