Number of the records: 1
Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů
- 1.
SYSNO 0500945 Title Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů Title Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films Author(s) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Kšírová, Petra (FZU-D) RID, ORCID
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCIDIssue data Praha: IQ structures, 2018 Document Type Výzkumná zpráva Grant FV20580 GA MPO - Ministry of Industry and Trade (MPO) Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Language cze Country CZ Keywords plasma * discharge * thin film * HiPIMS Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0293030
Number of the records: 1