Number of the records: 1
Aparatura pro detekci nečistot v naneseném rezistu
- 1.
SYSNO 0496767 Title Aparatura pro detekci nečistot v naneseném rezistu Title Apparatus for detecting of particles in coated resist layer Author(s) Drozd, Michal (UPT-D)
Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Král, Stanislav (UPT-D) RID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pavelka, Jan (UPT-D) RID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAIIssue data 2018 Subspecies Functional Specimen Int.Code APL-2018-05 Technical parameters Jedná se o aparaturu používající pro skenování digitální kameru. Rozměry: 45x35x50 cm, rychlost skenování 1cm2/2min., rozlišení částic > 10 um. Typ podložek: Si destička 4‘a 6‘. Economic parameters Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Alexandr Knápek, Ph.D., knapek@isibrno.cz Owner Name Ústav přístrojové techniky AV Ř, v. v. i. Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., APL-2018-05 Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TG03010046 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS), CZ - Czech Republic Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Language cze Country CZ Keywords e–beam lithography * quality control * image processing Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0289410
Number of the records: 1