Number of the records: 1

Příprava germanidu a silicidu hořečnatého z odpadních surovin pro získávaní superčistých polovodičů, vodíku a CVD prekurzorů.

SYSNO	0485072
Title	Příprava germanidu a silicidu hořečnatého z odpadních surovin pro získávaní superčistých polovodičů, vodíku a CVD prekurzorů.
Title	Preparation of Magnesium Germanide and Silicide from Waste Materials for Ultra-Pure Semiconductors, Hydrogen and CVD Precursors Production.
Author(s)	Bumba, Jakub (UCHP-M)_SAI Dytrych, Pavel (UCHP-M)_{RID, ORCID, SAI} Kaštánek, František (UCHP-M)_{RID, SAI, ORCID} Šolcová, Olga (UCHP-M)_{RID, ORCID, SAI}
Source Title	Sborník. S. 48. - Praha : Česká společnost chemického inženýrství, 2017
Conference	Konference chemického a procesního inženýrství - CHISA 2017 /64./, 23.10.2017 - 26.10.2017, hotel Jezerka, přehrada Seč
Article number	A1.1
Document Type	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	GA15-14228S GA ČR - Czech Science Foundation (CSF)
Institutional support	UCHP-M - RVO:67985858
Language	cze
Country	CZ
Keywords	magnesium germanide * magnesium silicide * regeneration of semiconductors
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0280176

	File	Download	Size	Commentary	Version	Access
	SKMBT_C22017112809372.pdf	22	596.8 KB		Publisher’s postprint	open-access

Number of the records: 1