Number of the records: 1

Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy

SYSNO	0478403
Title	Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy
Title	Thick layer coating on Si wafers and the control of the layer
Author(s)	Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Issue data	2017
Subspecies	Ověřená technologie
Int.Code	APL-2017-02
Result owner	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Technical parameters	Vrstvy rezistu se nanáší na křemíkové podložky průměru 4-6 palců. Nominální tloušťka vrstev je 10 mikronů. Technologie vyžaduje čistou laboratoř s třídou čistoty 1000 nebo lepší.
Economic parameters	Ověřená technologie realizovaná při řešení grantů, využívaná příjemcem při vývoji planárních mikrostruktur v rámci projektu FV10618 a v rámci smluvního výzkumu. Kontakt: Ing. Miroslav Horáček, Ph.D., mih@isibrno.cz
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	APL-2017-02
Document Type	Poloprovoz, ověřená technol., odrůda, plemeno
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS), CZ - Czech Republic
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS)
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731
Language	cze
Country	CZ
Keywords	e-beam lithography * PMMA rezist * thick layers * spin coating
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0274516

Number of the records: 1