Number of the records: 1
Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy
- 1.
SYSNO 0478403 Title Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy Title Thick layer coating on Si wafers and the control of the layer Author(s) Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAIIssue data 2017 Subspecies Ověřená technologie Int.Code APL-2017-02 Result owner Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Technical parameters Vrstvy rezistu se nanáší na křemíkové podložky průměru 4-6 palců. Nominální tloušťka vrstev je 10 mikronů. Technologie vyžaduje čistou laboratoř s třídou čistoty 1000 nebo lepší. Economic parameters Ověřená technologie realizovaná při řešení grantů, využívaná příjemcem při vývoji planárních mikrostruktur v rámci projektu FV10618 a v rámci smluvního výzkumu. Kontakt: Ing. Miroslav Horáček, Ph.D., mih@isibrno.cz Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., APL-2017-02 Document Type Poloprovoz, ověřená technol., odrůda, plemeno Grant LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS), CZ - Czech Republic ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Language cze Country CZ Keywords e-beam lithography * PMMA rezist * thick layers * spin coating Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0274516
Number of the records: 1