Number of the records: 1
Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu
- 1.
SYSNO 0476548 Title Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu Title A method of measuring deposition low pressure plasma using wave resonance of electron cyclotron waves and a device for performing this method Author(s) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Adámek, Jan (FZU-D)
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCIDIssue data 2017 Name of the owner Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i Date of the patent acceptance 31.05.2017 Patent no. or utility model no. or industrial design no. 306799 Patent category E - Úřad průmyslového vlastnictví (patentový úřad ČR) Code of the issuer name CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague Document Type Patentový dokument Grant TA03010743 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Language cze Keywords plasma deposition * electrone-cyclotrone wave * acoustic emission URL https://isdv.upv.cz/webapp/webapp.pts.det?xprim=10195504&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot= Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0273025
Number of the records: 1