Number of the records: 1

Vysokofrekvenční aparatura pro měření parametrů plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny

SYSNO	0462264
Title	Vysokofrekvenční aparatura pro měření parametrů plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny
Title	Radio-frequency apparatus for measuring plasma parameters by making use of wave resonance of electron cyclotron wave
Author(s)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Straňák, Vítězslav (FZU-D)_{RID, ORCID}
Issue data	2016
Name of the owner	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Date of the utility model acceptance	07.06.2016
Utility model number	29519
Utility model type	U - Užitný vzor
Utility model category	E - Úřad průmyslového vlastnictví (patentový úřad ČR)
Code of the issuer name	CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague
Document Type	Užitný a průmyslový vzor
Grant	TA03010743 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
Institutional support	FZU-D - RVO:68378271
Language	cze
Keywords	ECWR * low-temprature plasma * thin film * plasma density * plasma deposition
URL	https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0029/uv029519.pdf
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0261744

Number of the records: 1