Number of the records: 1
Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii
- 1.
SYSNO 0452397 Title Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii Title Advanced interferometry systems for dimensional measurement in nanometrology Author(s) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Oulehla, Jindřich (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Vychodil, M. (CZ)
Sedlář, P. (CZ)
Provazník, M. (CZ)Source Title Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 14-17. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Document Type Článek v odborném periodiku Grant GB14-36681G GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) TA02010711 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) TA01010995 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) TE01020233 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS), CZ - Czech Republic ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Language cze Country CZ Keywords interferometry systems * dimensional measurement * nanometrology Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0253412
Number of the records: 1