Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem

Number of the records: 1

1.

SYSNO	0452395
Title	Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem
Title	Combination of electron lithography with Gaussian and shaped beams
Author(s)	Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Urbánek, Michal (UPT-D)_RID Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Source Title	Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 10-13. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Document Type	Článek v odborném periodiku
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS), CZ - Czech Republic
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731
Language	cze
Country	CZ
Keywords	e-beam writer * Gausssian beam * variable shaped beam
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0253409

Number of the records: 1