Number of the records: 1
Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu
- 1.
SYSNO 0424534 Title Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu Title Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems Author(s) Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCIDIssue data 2013 Subspecies Functional Specimen Int.Code DPCS/FZÚ/2013 Technical parameters Rychlost 85 KSPS, přesnost měření je 0,024%, vstupní napětí +- 10 V Economic parameters V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum Owner Name Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., DPCS/FZÚ/2013 Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TA01010517 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) M100101215, CZ - Czech Republic Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Language cze Country CZ Keywords pohyb substrátu * PC řízený Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0230598
Number of the records: 1