Number of the records: 1

Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev

SYSNO	0396132
Title	Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev
Title	System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process
Author(s)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kubart, T. (CZ) Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID}
Issue data	2013
Name of the owner	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i
Date of the utility model acceptance	16.09.2013
Utility model number	25867
Utility model type	U - Užitný vzor
Utility model category	E - Úřad průmyslového vlastnictví (patentový úřad ČR)
Code of the issuer name	CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague
Document Type	Užitný a průmyslový vzor
Grant	TA01011740 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
	LH12043 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS)
Institutional support	FZU-D - RVO:68378271
Language	cze
Keywords	ion flux * neutral particles * magnetic field * deposition rate
URL	http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0223966

Number of the records: 1