Number of the records: 1

Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy

SYSNO	0390204
Title	Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy
Title	Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes
Author(s)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kšírová, Petra (FZU-D)_{RID, ORCID} Šmíd, Jiří (FZU-D) Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID}
Issue data	2012
Subspecies	Functional Specimen
Int.Code	FS3/FZÚ/2012
Technical parameters	Typ termočlánku kalorimetrické sondy-K. Základní frekvence QCM senzoru 5000,00 kHz. Frekvenční rozsah pulzního napětí pro měření iontového toku 50-400 kHz. Frekvence RF zdroje harmonického napětí pro měření iontového toku 1 MHz Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: FS3/FZÚ/2012
Economic parameters	V rámci projektu TAČR byl vytvořen měřící diagnostický systém pro velkoplošné depoziční techniky. Tento systém bude součástí realizovaného vícetryskového depozičního MW systému.
Owner Name	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	Smlouva o spolupráci mezi SVCS Process Inovation s.r.o. a FZU AV ČR ze dne 14.2.2011
Document Type	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	TA01011740 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Language	cze
Country	CZ
Keywords	heating flux * plasma * ion flux * deposition * thin films * deposition rate
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0219081

Number of the records: 1