Number of the records: 1
Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev
- 1.
SYSNO 0383946 Title Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev Title Plasma system developed for deposition of perovskite thin films Author(s) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Dejneka, Alexandr (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Suchaneck, G. (DE)
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCIDIssue data 2012 Name of the owner Fyzikální ústav AV ČR, v.v. i Date of the utility model acceptance 21.05.2012 Utility model number 23845 Utility model type U - Užitný vzor Utility model category E - Úřad průmyslového vlastnictví (patentový úřad ČR) Code of the issuer name CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague Document Type Užitný a průmyslový vzor Grant GC202/09/J017 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) TA01010517 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) GAP205/11/0386 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF), CZ - Czech Republic CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Language cze Keywords plasma * magnetron sputtering * plasma-jet * PZT thin films URL http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0023/uv023845.pdf Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0213731
Number of the records: 1