Number of the records: 1  

Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01

  1. 1.
    SYSNO0371302
    TitleHybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01
    TitleHybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01
    Author(s) Šmíd, Jiří (FZU-D)
    Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
    Churpita, Olexandr (FZU-D) RID, ORCID
    Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
    Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
    Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
    Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
    Lukašík, P. (CZ)
    Piják, A. (CZ)
    Dolák, J. (CZ)
    Martinek, P. (CZ)
    Pitrun, J. (CZ)
    Rek, Š. (CZ)
    Konečný, L. (CZ)
    Mareš, G. (CZ)
    Štepánek, J. (CZ)
    Jakeš, J. (CZ)
    Křenek, Z. (CZ)
    Joštic, M. (CZ)
    Issue data2011
    SubspeciesFunctional Specimen
    Int.CodePST1/FZÚ-SVCS/2011
    Technical parametersVnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH
    Economic parametersLaboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    Owner Name50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o.
    Document TypePrototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
    Grant TA01011740 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
    CEZAV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
    Languagecze
    CountryCZ
    Keywords microwave * surfatron * thin films * plasma * deposition * plasma jet * surface wave
    Permanent Linkhttp://hdl.handle.net/11104/0204848
     
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.