Number of the records: 1
Measurements of plasma parameters during Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system
- 1.
SYSNO 0324065 Title Measurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system Title Měření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvoutryskového plazmatického systému s efektem duté katody Author(s) Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Virostko, Petr (FZU-D)
Deyneka, Alexander (FZU-D)
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Adámek, P. (CZ)
Šícha, M. (CZ)
Tichý, M. (CZ)
Šíchová, H. (CZ)Source Title Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 56, Suppl. B (2006), B1283-B1289. - : Springer Document Type Článek v odborném periodiku CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Language eng Country CZ Keywords BSTO thin films * hollow cathode sputtering * Langmuir probe * emission spectroscopy Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0005187
Number of the records: 1