Number of the records: 1  

Measurements of plasma parameters during Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system

  1. 1.
    SYSNO0324065
    TitleMeasurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system
    TitleMěření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvoutryskového plazmatického systému s efektem duté katody
    Author(s) Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
    Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Virostko, Petr (FZU-D)
    Deyneka, Alexander (FZU-D)
    Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
    Adámek, P. (CZ)
    Šícha, M. (CZ)
    Tichý, M. (CZ)
    Šíchová, H. (CZ)
    Source Title Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 56, Suppl. B (2006), B1283-B1289. - New York : Springer Science. - : Business Media
    Document TypeČlánek v odborném periodiku
    CEZAV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
    Languageeng
    CountryCZ
    Keywords BSTO thin films * hollow cathode sputtering * Langmuir probe * emission spectroscopy
    Permanent Linkhttp://hdl.handle.net/11104/0005187
     
Number of the records: 1