Number of the records: 1

Způsob diagnostiky plazmatu s vyloučením měření narušených nestabilitami a přechodovými jevy v plazmatu a zařízení k provádění tohoto způsobu

SYSNO ASEP	0486986
Document Type	P - Patent
R&D Document Type	Patent or other outcome protected by special legislation
Title	Způsob diagnostiky plazmatu s vyloučením měření narušených nestabilitami a přechodovými jevy v plazmatu a zařízení k provádění tohoto způsobu
Title	A method of plasma diagnosis, excluding measurements disturbed by instabilities and transient phenomena in plasma, and a device for implementing this method
Author(s)	Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID}
Year of issue	2017
Possible third party use of the result	A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Royalty requested	A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
Patent no. or utility model no. or industrial design no.	307104
Date of the patent acceptance	29.11.2017
Name of the patent owner	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Code of the issuer name	CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague
Current use	A - Pouze udělený (dosud nevyužívaný) patent nebo patent využívaný jeho vlastníkem
Language	cze - Czech
Keywords	deposition plasma ; exclusion of measurements disturbed by instabilities in plasma ; Langmuir probe
Subject RIV	BL - Plasma and Gas Discharge Physics
OECD category	Fluids and plasma physics (including surface physics)
R&D Projects	GA16-22092S GA ČR - Czech Science Foundation (CSF)
Institutional support	FZU-D - RVO:68378271
Annotation	Způsob diagnostiky plazmatu s vyloučením měření narušených nestabilitami v plazmatu je realizován měřicím systémem propojeným s plazmochemickým reaktorem , s Langmuirovou sondou ,s řídicím a měřicím blokem , počítačem a generátorem spouštěcích impulzů. Stav diagnostikovaného plazmatu je na výstupu z referenční a výbojové elektrody nepřetržitě sledován a vyhodnocován ve vloženém blokovacím obvodu pomocí filtrace a tvarování vstupních signálů z referenční a výbojové elektrody , zachycující časové změny napětí ve výboji. Při zjištění vzniku nestabilit v plazmatu jsou spouštěcí impulzy vysílané z generátoru do řídicího a měřicího bloku zablokovány do okamžiku ustálení nestabilit v plazmatu. Načež je obnoveno propouštění spouštěcích impulzů do řídicího a měřicího bloku. Podstatou vynálezu je i konstrukce zařízení k realizaci tohoto způsobu diagnostiky plazmatu.
Description in English	The method of plasma diagnostics, excluding measurement disturbed by instability in plasma, is accomplished by a measuring system connected to a plasma-chemical reactor into which a Langmuir probe with a control and measuring block, a computer, and a trigger pulse generator is introduced. The state of the diagnosed plasma is continuously monitored and evaluated at the output from the reference and discharge electrodes in the interlocking circuit by filtering and shaping the input signals from the reference and discharge electrodes, capturing the time changes of the voltage in the discharge. When instability is detected in a plasma cell, trigger pulses transmitted from the generator to the control and measurement block are blocked until the steady state of the plasma stabilizes. The release of trigger pulses is then restored to the control and measurement block. It is also an object of the invention to provide a device for implementing this method of plasma diagnostics.
Workplace	Institute of Physics
Contact	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Year of Publishing	2018
Electronic address	https://isdv.upv.cz/webapp/webapp.pts.det?xprim=10234698&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=

Number of the records: 1