Number of the records: 1
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů
- 1.
SYSNO ASEP 0449903 Document Type P - Patent R&D Document Type Patent or other outcome protected by special legislation Title Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů Title Hybrid plasma nozzle with surface wave for driving highly reactive discharges Author(s) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Šmíd, Jiří (FZU-D)
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAIYear of issue 2015 Possible third party use of the result A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence Royalty requested A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Patent no. or utility model no. or industrial design no. 305482 Date of the patent acceptance 09.09.2015 Name of the patent owner Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i Code of the issuer name CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague Current use A - Pouze udělený (dosud nevyužívaný) patent nebo patent využívaný jeho vlastníkem Language cze - Czech Keywords plasma ; discharge ; surfatron ; thin films Subject RIV BL - Plasma and Gas Discharge Physics R&D Projects LH12045 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) TA03010743 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Annotation Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů je určená zejména pro zabudování do vakuového depozičního systému pro depozice tenkých vrstev obsahujícího vakuovou komoru, v jejímž vnitřním prostoru je instalována plocha pro uložení substrátu a do něhož je zavedena alespoň jedna křemenná pracovní trubice, která je připojena na vnější zdroj pracovního plynu, která je zaústěna do blízkosti plochy pro uložení substrátu a která prochází vně vakuové komory tělem surfatronu, který je napojen na mikrovlnný generátor, vyznačující se tím, že každá pracovní trubice je do vakuové komory zavedena přes křemennou průchodku, která je opatřena křemenným nástavcem orientovaným do vnitřního prostoru vakuové komory, přičemž ve spodní části je pracovní trubice opatřena prstencovou elektrodou, která pracovní trubici obepíná a je elektricky vodivě spojena s vysokofrenvenčním generátorem. Description in English Hybrid plasma jet with surface wave for excitation of high reactive discharges is designed mainly for incorporation in a vacuum deposition system for thin films deposition comprising a vacuum chamber, in the interior of which is installed substrate holder and into which is introduced at least one quartz tube that is connected to an external source of the working gas, which is ended close to substrate holder and which extends outside the vacuum chamber through surfatron body, which is connected to a microwave generator. Each working tube is introduced into the vacuum chamber through a quartz bushing, which is provided with a quartz nozzle facing into interior of the vacuum chamber, the bottom of the tube is provided with an annular working electrode, which surrounds the working tube and is electrically connected with high-frequency generator. Workplace Institute of Physics Contact Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Year of Publishing 2016 Electronic address http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746
Number of the records: 1