Number of the records: 1

Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály

SYSNO ASEP	0390208
Document Type	L - Prototype, Functional Specimen
R&D Document Type	Prototype, Functional Specimen
RIV Subspecies	Functional Specimen
Title	Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály
Title	Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels
Author(s)	Šmíd, Jiří (FZU-D) Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Lukašík, P. (CZ) Piják, A. (CZ) Dolák, J. (CZ) Martinek, P. (CZ) Pitrun, J. (CZ) Rek, Š. (CZ) Konečný, L. (CZ) Mareš, G. (CZ) Štepánek, J. (CZ) Jakeš, J. (CZ) Křenek, Z. (CZ) Joštic, M. (CZ) Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Straňák, Vítězslav (FZU-D)_{RID, ORCID} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Babchenko, Oleg (FZU-D)_{RID, ORCID} Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Potocký, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID}
Year of issue	2012
Int.Code	PST2/FZÚ-SVCS/2012
Technical parameters	Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012.
Economic parameters	Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný
Owner Name	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - SVCS Process Innovation s.r.o.
Registration Number of the result owner	68378271
Applied result category by the cost of its creation	A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
Use by another entity	A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
License fee fee	A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	Smlouva o spolupráci mezi SVCS Process Inovation s.r.o. a FZU AV ČR ze dne 14.2.2011
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	microwave ; surfatron ; thin films ; vacuum reactor ; plasma ; deposition ; plasma jet ; flowmeter
Subject RIV	BL - Plasma and Gas Discharge Physics
R&D Projects	TA01011740 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Annotation	V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém kontroly průtoku plynu a jejich směsí v plazmovém reaktoru s lineární řadou MW plazmových kanálů s povrchovou vlnou.
Description in English	In frame of grant TACR, we have developed automatic control of gas flow and their mixtures in plasmatic PECVD reactor with linear structure of MW plasma jet excited with surface wave.
Workplace	Institute of Physics
Contact	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Year of Publishing	2013

Number of the records: 1